MEMSウェーハを乾燥させる際の安全性の確保
現実を言えば、化学洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるというのは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が可燃性や爆発性のある蒸気のすぐそばにあるのです。もし通常の赤外線ランプを使ったら、問題が起きてしまいます。
そのため、私たちは特別な方法でIRヒーターを製造しています。専用の封止材を使用して、化学物質がフィラメントを腐食するのを防ぎ、何よりも重要なのは、火災が起きないようにすることです。
秘密は密封性にあります。
私たちは完全に密閉された石英製のケースを使用し、厳しい化学物質にも耐えられるコーティングを施しています。目的は、電気的な接点を空気から完全に隔離することです。また、導線部分には高品質のエポキシやガラスと金属を組み合わせた密封材を使用し、揮発性有機化合物がランプの内部に入り込むのを防ぎます。
考えてみてください。もし密封が破れてフィラメントが焼けてしまったら、その小さな火花が火災の引き金になり得ます。私たちは、そんなことが起きないように、密封処理を徹底しています。
熱と安全性のバランス
これらのヒーターは、高強度の短波放射を利用してウェーハを素早く乾燥させますが、基板が焼けてしまわないように調整されています。これは微妙なバランスが必要です。出力を調整して、表面温度が化学蒸気の発火点以下に保たれるようにしています。
必要な速い蒸発速度を得られますが、空気の流れにも注意が必要です。これらのランプは高温になります。排気システムが遅くなると、チャンバ内に熱がこもり、危険な状況になります。
メンテナンス時の手間を省く
修理に何時間もかけないように、私たちはこの装置を「スイッチ式」の交換可能なものにしました。配線は危険な環境に適したもので、数百回の加熱サイクルでも割れたり剥がれたりしない強化された絶縁材を使用しています。また、時間とともに緩んでしまう脆弱なコネクタも使わず、振動に強い安全な端子を使用しています。これにより、電気アークのリスクが完全に排除されます。交換が必要な時は、単にランプを交換し、接続部を締めるだけで済みます。面倒な再配線も不要です。