IR加熱を活用してセンサーの包装における二酸化炭素排出を削減する もし実際にチップ製造現場でカーボンニュートラルを実現したいのであれば、大型の対流式オーブンに依存するのはやめなければなりません。そうしたオーブンはあまりにもエネルギーを無駄にしています。その代わりに、私たちは目的を絞った赤外線システ...

MEMSウェーハを乾燥させる際の安全性の確保 現実を言えば、化学洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるというのは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が可燃性や爆発性のある蒸気のすぐそばにあるのです。もし通常の赤外線ランプを使ったら、問題が起きてしまいます。 そのため、私たちは特別な方法で...

IRヒートを使って水素センサーを正しく製造する方法 もし、これまでに水素センサーの製造を試みたことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。センサーの膜が壊れないようにし、触媒がしっかりと付着するようにするためには、熱の分布を正確にコントロールする必要があります。 長い間、私たちは対流式のオーブンを使...

高負荷のIRランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 正直に言って、高負荷の半導体製造装置では、ランプが破損するのは大きな問題です。それは5分で交換できる単純な部品の故障ではありません。ひどい状況になります。石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降りかかります。そうなると...

##はじめに 半導体ウェーハを扱う際、適切な温度管理は単に重要なだけでなく、不可欠な要素です。そのため、私たちは赤外線加熱ランプシステムを開発しました。これにより、必要な場所にのみ熱を供給し、余計な部分には熱が行かないようにしています。 つまり、温度センサーや加熱装置に対して、正確で局所的な加熱が...