なぜ、実験室では金メッキ処理を施した赤外線ランプの方がホットエアより優れているのか？ もしホットエアシステムを使ったことがあるなら、その手順はご存知でしょう。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つのです。これは非常に時間がかかります。半導体製造の世界では、この待機時間は単なる無駄な時間に...

遅い加熱方法に時間を費やすのはやめましょう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的か もし、依然として強制対流式の空気加熱を使ってウェハを加熱しているのであれば、その手間の大変さはご存知でしょう。実際、ウェハにエネルギーを送り届けるために巨大な空気の泡を温めているだけです。これは非常に非効率的...