IR加熱とホットエア：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのでしょうか？ もし、ウェーハ処理においてホットエア循環から赤外線（IR）加熱に切り替える場合、それはつまり、熱がウェーハに伝わる仕組み全体を変えることになります。 強制送風の場合を考えてみてください。空気を加熱して部屋中に送り込み、その後は...

力を無駄にせずにウェーハの硬化を正しく行う方法 半導体製造プラントでカーボンニュートラルを実現しようとする場合、重要なのは熱の扱い方です。ウェーハを硬化させる際、フォトレジストを固めたり溶剤を除去したりするとき、エネルギーを無駄にしてはいけません。 秘訣は、必ずしもより大きなヒーターを使うことでは...

赤外線ランプがウエハーを破壊するのを防ごう 高負荷の生産を続けると、赤外線加熱ランプにとっては大変な負担となります。ランプはひどいダメージを受けます。 最終的にランプが壊れてしまったり、最悪の場合、加熱室の中で爆発してしまったりすると、それは大惨事です。クォーツの破片やフィラメントの破片が至る所に...

MEMSウェーハを乾燥させる際の安全性の確保 現実を言えば、化学洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるというのは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が可燃性や爆発性のある蒸気のすぐそばにあるのです。もし通常の赤外線ランプを使ったら、問題が起きてしまいます。 そのため、私たちは特別な方法で...

高負荷のIRランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 正直に言って、高負荷の半導体製造装置では、ランプが破損するのは大きな問題です。それは5分で交換できる単純な部品の故障ではありません。ひどい状況になります。石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降りかかります。そうなると...

##はじめに 半導体ウェーハを扱う際、適切な温度管理は単に重要なだけでなく、不可欠な要素です。そのため、私たちは赤外線加熱ランプシステムを開発しました。これにより、必要な場所にのみ熱を供給し、余計な部分には熱が行かないようにしています。 つまり、温度センサーや加熱装置に対して、正確で局所的な加熱が...

製造現場では、リソグラフィーの工程は自分のペースで進行します。工程が進行中に一時停止することはできません。もしフォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に赤外線温度が変動してしまうと、重要な寸法の変化に対処しなければならず、その結果、歩留まりが低下してしまいます。必要なのは、一定の温度を維持し...

300 mmラインにおいて、乾燥中の0.1°C未満のドリフトでも、重要寸法がナノメートル単位でずれ、粒子数の増加を招く。そのため、MEMSウェーハ乾燥用ヒーターは、熱挙動が単なるパラメータではなくプロセスそのものであるという条件に対応している。 内部で注力している点 高速かつ安定した熱伝達を実現す...