製造現場では、リソグラフィーの工程は自分のペースで進行します。工程が進行中に一時停止することはできません。もしフォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に赤外線温度が変動してしまうと、重要な寸法の変化に対処しなければならず、その結果、歩留まりが低下してしまいます。必要なのは、一定の温度を維持し、ウェーハ全体に均一に熱を供給し、毎回同じ熱処理プロファイルを再現できる加熱装置です。
技術的に重要な点 私たちは、プロセス条件に合わせて短波長の赤外線を使用するウェーハ用赤外線ヒーターを使用しています。これにより、フォトレジストが必要とする場所に正確に熱を供給できます。ウェーハ全体の温度は±0.1℃以内に抑えられ、設定値の再現性も±0.2℃以内です。つまり、どのロットでも同じ条件での熱処理が行われます。石英を使った発熱体の設計により、粒子の発生を防ぎ、クリーンルームのクラス1～100に適合します。クラスAセンサーを使ったフィードバック制御により、過剰な温度上昇を0.5℃未満に抑えることができ、繊細な構造を保ちつつ迅速に温度を安定させることができます。
なぜ生産現場で効果的か 24時間365日の稼働でも、予期せぬ停止は起こりません。実際、連続して運転しても故障率はゼロです。実績によると、5,000時間以上の運転でも出力の低下は5％未満で、温度の変動も1,000時間あたり0.1℃未満です。これにより、寸法の管理がより厳密になり、廃棄されるウェーハの数も減少し、メンテナンスのタイミングを計画しやすくなります。迅速な温度上昇により、熱処理時間が短縮されますが、同時にプロファイルの管理も維持されます。その結果、生産性が向上し、エネルギー消費も適切にコントロールされます。
実際の設置に関する詳細 設置には、専用の電源と適切なEMIシールドが必要です。これにより、制御回路が乱れるのを防げます。ヒーターは標準的なOEMステーションに取り付けられますが、熱インターフェースは適切にマッチしている必要があります。マッチしない場合、微細な温度不均一が生じます。設定パラメータを固定するために、短時間の試運転を行います。一度設定が完了すれば、以降は何度運転しても同じ条件での熱処理が行われます。