時間との戦いにおいて、なぜIR加熱がホットエアより優れているのか 半導体製造に従事している人なら、時間こそが最も大きなコスト要因だということを知っています。ウェーハが適切な温度に達するまでにかかる1秒1秒が、予算の無駄遣いとなります。 多くの場合、最初はホットエアを使って加熱しますが、これには根本...

IRランプの電気漏れの心配はやめましょう。 高出力の赤外線ランプを生産ラインに接続するとき、多くの場合、熱が懸念事項となります。しかし実際には、本当の問題は電気漏れです。 クォーツにわずかな穴があったり、密封が不十分だったりすると、短絡が起こります。そうなると、システム全体が故障したり、最悪の場合...

ストップランプの破損による歩留まりの低下を防ぐ方法 混雑した半導体製造工場では、ランプが故障するだけでも大変な問題です。しかし、もし石英製のケースが破裂してしまったら、状況はさらに悪化します。その場合、タングステンの破片やガラスの破片がウエハーの上に降り注ぎます。これはまさに悪夢です。単に生産停止...

無駄なエネルギーの浪費をやめよう：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットでも無駄にしてはいけません。 多くの人々は、一般的なアルミニウムや研磨された鋼鉄製のケースを使っていますが、問題は、これらの材料があまりにも多くのエネルギーを吸収してしまうことです。つま...

ファブ内での炭素排出削減：なぜカーボンファイバーを利用した赤外線ランプが有効なのか 正直に言うと、半導体製造工場は非常に多くのエネルギーを消費する施設です。炭素中和の目標を達成したいのであれば、単に電球を交換するだけでは不十分です。電力が無駄に消費されてしまう熱処理工程に対処する必要があります。...

化学処理が行われる環境で赤外線ヒーターを使用する際の安全性の確保 もし、ファブのクリーンルーム、特に化学的な清洗ステーションを改良するとしたら、その危険性はよく理解しているはずです。そこでは揮発性の高い溶剤や可燃性の蒸気が存在します。このような環境では、普通の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むし...

製造現場では、焼成温度の変動は警告灯として表れません。代わりに、0.3％のCD変動や線幅の変化、そして再加工のタイミングが過ぎた後に不良品が発生します。オーブン内のライトが劣化すると、ウェーハが高温状態にある間は設定値が正常に表示されます。そのため、スロットごと、ロットごとに熱性能を安定させるため...

製造現場では、乾燥工程でわずかなばらつきがあっても、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。その結果、ウェーハを廃棄したり、無駄にエネルギーを消費したりすることになります。また、非効率的な加熱サイクルや何度も行われる再調整によって、エネルギーの無駄遣いはさらに蓄積されていきます。私たちは、...

リソグラフィー工程においては、フォトレジストを加熱する際の温度が2℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。R7sの赤外線ヒーターは、熱が適切な範囲内に留まるように設計されており、場所ごとにばらつきが生じないようにしています。 重要な...

ファブフロアでは、数度の差が安定した工程を逸脱に変えることがある。リソグラフィとフォトレジスト処理において、ベーク工程は単なるウォームアップではない。これはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、欠陥レベルを決定する熱予算である。ドライヤーがずれると、ウェーハ全体にソフトベークの非均一性、パター...