無駄なエネルギーの浪費をやめよう：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか
シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットでも無駄にしてはいけません。 多くの人々は、一般的なアルミニウムや研磨された鋼鉄製のケースを使っていますが、問題は、これらの材料があまりにも多くのエネルギーを吸収してしまうことです。つまり、本来使われるはずのエネルギーが、機械のフレームの中で無駄になってしまうのです。 だからこそ、私たちは金を使用します。高級そうに聞こえますが、実際には非常に実用的なのです。金は、赤外線の熱を正しくウェーハに戻すのに最適な素材です。 重要なのは焦点の調整です。 ヒーターランプを考えてみてください。それはエネルギーを全方位に放出します。適切な形状のケースがなければ、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。 私たちは高品質のステンレス鋼を使い、正確な形状に加工した上で、金の層を塗ります。そうすることで、光子は無駄に散逸することなく、必要な場所に送られます。結果として、より均一な温度分布が得られ、ウェーハの加熱時間も大幅に短縮されます。 注意すべき点もあります。 金の塗装には真空蒸着法を使います。なぜかというと、単純に塗装するだけでは、温度が上がるとすぐに剥がれてしまうからです。この方法なら、どんなに高温になっても金の層はしっかりと残ります。 ただし、注意が必要です。金は非常に効率的な素材です。そのため、焦点付近の熱密度が急激に上昇し、PIDコントローラーが混乱する可能性があります。この状況に対応できないようであれば、温度が上昇しすぎてウェーハが破損してしまうかもしれません。設定をしっかりとチェックしてください。 設置方法について 最良の点は、これらの部品は、既存のIR装置の交換用として使えることです。 私たちは、ウェーハ全体に不快な冷たい部分ができないように、反射板の形状に細心の注意を払っています。同じ表面温度でも、電力代が削減されることに気づくでしょう。 最後に、冷却ファンにも注意してください。熱が集中するため、ランプの端部分が非常に高温になります。ソケットが壊れないように、十分な空気の流れを確保してください。