均一性フォトレジスト焼成ランプ

リソグラフィー工程において、ソフトベイクとハードベイクの段階で、フォトレジストの厚みが決定されます。もしウエハ全体での加熱が均一でなければ、厚みにばらつきが生じます。これは後のエッチング工程でCDのばらつきとして現れ、結果としてウエハが廃棄処分となってしまいます。 重要なポイント 私たちは、短波長...