工場の乾燥工程におけるエネルギー診断

製造現場では、乾燥工程でわずかなばらつきがあっても、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。その結果、ウェーハを廃棄したり、無駄にエネルギーを消費したりすることになります。また、非効率的な加熱サイクルや何度も行われる再調整によって、エネルギーの無駄遣いはさらに蓄積されていきます。私たちは、...