カーボンファイバー赤外線ランプ工場
ファブ内での炭素排出削減:なぜカーボンファイバーを利用した赤外線ランプが有効なのか
正直に言うと、半導体製造工場は非常に多くのエネルギーを消費する施設です。炭素中和の目標を達成したいのであれば、単に電球を交換するだけでは不十分です。電力が無駄に消費されてしまう熱処理工程に対処する必要があります。...
カーボンナノチューブ製造用ヒーター
焼損したランプがウェーハの歩留まりを台無しにするのを防ごう 高負荷なCNT製造を行っている方なら、そのストレスはよく分かるでしょう。これらの赤外線ランプは常にフル稼働状態です。しかし、最悪の事態として、ランプが破裂してしまうこともあります。
そうなると、生産ラインが止まるだけでなく、ウェーハには石...