なぜ私たちはオーブンを使わずに赤外線による硬化処理を採用するのか？ 正直言って、半導体を乾燥させるための従来の方法——つまり巨大な対流式オーブンを使う方法は、もはや効率的ではありません。今では、ほとんどの人が赤外線による硬化処理を採用しています。これは単に「環境に優しい」という理由や鉛を排除するた...

ヒーターの交換に時間を無駄にしないでください。 正直に言って、産業用赤外線システムが故障するのは、ヒーター自体が劣悪なものだからではありません。実際には、故障したヒーターチューブを交換するのが非常に面倒だからです。 例えば、5年間しっかりと動作してきたチューブが壊れてしまったとします。そうなると、...

なぜ、ソフトベイクには専用のヒーターが必要なのか？ 私たちは、ウェーハ製造の初期工程で使用されるフォトレジストの硬化処理用のヒーターを製造しています。その目的は単純です。つまり、フォトレジストが硬化する際に、熱を正確に必要な場所に送り込むことです。 実際、わずか1度の誤差でも、一括での製品不良につ...

リソグラフィー工程においては、フォトレジストを加熱する際の温度が2℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。R7sの赤外線ヒーターは、熱が適切な範囲内に留まるように設計されており、場所ごとにばらつきが生じないようにしています。 重要な...