真空対応の赤外線ヒーター
チップ製造における炭素排出の削減:なぜ真空赤外線が最適なのか
半導体の製造は、極めて精密な作業が求められます。正確な温度管理が必要であり、ウェーハに何か異物やほこりが付着することは絶対に避けなければなりません。長年にわたり、私たちは大型の抵抗加熱炉を利用してきましたが、これは実質的に巨大なオーブン...
真空チャンバー用赤外線ヒーター
単一のランプの故障が、全体の生産を台無しにするのを防ぎましょう。
高負荷の製造環境では、ランプが壊れるというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に厄介な問題です。
もし真空チャンバー内で石英管が割れてしまったら、単に電球が壊れただけでは済みません。ガラスの破片や金属のフィラ...