省エネ型ウェーハヒーター

赤外線ランプがウエハーを破壊するのを防ごう 高負荷の生産を続けると、赤外線加熱ランプにとっては大変な負担となります。ランプはひどいダメージを受けます。 最終的にランプが壊れてしまったり、最悪の場合、加熱室の中で爆発してしまったりすると、それは大惨事です。クォーツの破片やフィラメントの破片が至る所に...