クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その厳しさはご存知でしょう。加熱処理中にほんの少しのほこりや異常な化学物質が混入するだけで、全ての製品が台無しになってしまいます。まさに悪夢です。古いタイプの抵抗式ヒーターでは、このような状況に対応できません。彼らは剥がれ落ちたり、ガスを放出したり...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は任意の操作ではなく、必須の工程です。ソフトベイク時にわずか0.5度の誤差があっても、これはウェハの寸法精度に影響を与えます。ハードベイク時には、熱の不均一性が原因でウェハ表面に汚れがつき、歩留まりが悪化します。したがって、シフトを重ねても安定した温度を...