クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その厳しさはご存知でしょう。加熱処理中にほんの少しのほこりや異常な化学物質が混入するだけで、全ての製品が台無しになってしまいます。まさに悪夢です。古いタイプの抵抗式ヒーターでは、このような状況に対応できません。彼らは剥がれ落ちたり、ガスを放出したりして、周囲を汚染してしまいます。
そこで私たちは、高純度の合成石英製のIRランプに切り替えました。これらのランプは、ゼロ汚染の生産環境を実現するために作られています。
実際の動作原理 私たちは、多量のシリカを含んだ融解石英製のケースを使用します。なぜかというと、これによって揮発性有機化合物や金属粉が空気中に漏れ出るのを防げるからです。
最も良い点は、加熱要素がチューブの中に完全に密封されていることです。熱は放射によって伝わるため、作業物には何も触れません。接触がないので、混雑も起こりません。そう簡単なのです。
パワーと熱について 使用するスペースに応じて、出力や電圧を調整することができます。高出力の設定を選べば、強力な短波長のIRが得られ、基材の奥深くまで熱が届きます。その結果、加熱処理の時間が大幅に短縮されます。しかし注意すべき点は、そのような高温は装置に大きな負担を与えるということです。冷却ファンや水冷装置が十分に機能しているか確認しましょう。そうでなければ、オーブンの外殻が変形してしまう可能性があります。
重要な細部 私たちは、R7やSk15といった標準的なコネクタを使用します。これにより、電気的なシールをしっかりと保つことができます。
問題は、接続が緩んでしまうとアークが発生することです。アークによって炭素沈着物が生じます。そして、クリーンルーム内で炭素沈着物があると、大惨事になります。また、石英を鏡面のように磨くことで、粒子がランプに付着するのを防ぎます。
実際の利用方法 これらのランプは、ほぼそのまま交換可能です。古くて汚れたランプを使用している場合、それを交換すれば、クリーンルームの清掃に費やす時間を大幅に削減できます。
よりクリーンなプロセスで、ダウンタイムも大幅に減少します。
最後に、もし24時間体制で最大電圧で使用する場合、石英は時間が経つにつれて少し曇ってしまうことがあります。でも心配しないでください。これは正常なことです。私たちは、放射出力を最大限に保つために、5,000時間ごとにランプを交換することを推奨しています。