もうフレークの問題はありません：クリーンルームの加熱を正しく行うには
クラス100（ISO 5）の環境で作業を行っている場合、その悩みはよくわかるでしょう。わずかな粒子の飛散——例えば、材料の破片やガスの放出——だけで、ウェーハや光学部品がダメになってしまいます。本当に厄介です。一般的な加熱要素では、このような状況に対応できず、機能しなくなってしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
石英が重要な理由
実は、普通のガラスや安価な石英では、繰り返される加熱・冷却のストレスに耐えられません。温められるとすぐに金属粒子や揮発性有機化合物が漏れ出してしまいます。
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融解シリカを使用しています。表面の汚染物質も取り除かれているため、何も蒸発して製品に付着することはありません。つまり、常に清潔な状態が保たれます。
必要な場所だけに熱を供給する
誰も、部屋が過度に暑くなってクリーンルームのHVACセンサーが誤作動することは望みません。
そのため、ランプ内のフィラメントの形状やガスの種類を調整し、熱が正確に必要な場所に届くようにしています。急激な温度上昇と急激な停止が可能で、非常に正確です。これにより、作業全体がスムーズに進みます。
設置と維持管理
これらのランプは、既存のIRアレイの代替品として設計されています。また、特別なコネクタを使用しているため、酸化やアーク放電の心配もありません。クリーンエリア内に金属粉が漂うのは最悪の事態です。
ただし、高純度の石英は、通常使用されているものよりも少しもろいという欠点があります。
どうぞ、チームメンバーには「素手で触らないように」と伝えてください。
皮脂がガラス面に熱点を作り、それがランプを壊す原因になります。清掃にはノンワイプの手袋とイソプロピルアルコールを使用してください。また、冷却システムが放射熱に対応できるかも確認してください。そうすれば、後々のトラブルを避けることができます。