ウェーハを清潔に保つために：オゾンフリーの赤外線ランプの真実
大量生産の半導体製造現場では、ランプが故障することは大きな問題です。単に停電による損失だけではありません。もし水晶管がシリコンウェーハの上で破裂してしまうと、至る所にガラスの破片や化学物質の残留物が散乱し、完全な混沌状態になります。これにより、生産効率は即座に低下します。
私たちは、このような事態を防ぐために、オゾンフリーの赤外線ランプを特別に開発しました。
オゾンの問題点
一般的な短波長赤外線ランプは、185ナノメートルから254ナノメートルの範囲で光を放出します。しかし、この波長の光は酸素と反応してオゾンを生成します。クリーンルーム内では、オゾンは腐食性のある有害物質です。
これを解決するために、私たちはドープされたフィラメントや特殊な水晶を使用しています。これにより、オゾンが生成される波長がなくなります。依然として必要な熱は得られますが、腐食作用によって環境が損傷することはありません。
破裂を防ぐために
ほとんどの水晶管は、急激な温度変化によって破裂します。私たちは高純度の合成水晶を使用しています。この水晶の膨張率は非常に低いため、電源のオンオフ時にも割れることはありません。しかし、それだけではありません。保護用のケースや特別なコーティングも施してあります。もし水晶が破裂しても、このケースがすべてを保持し、破片がウェーハに落ちるのを防ぎます。
熱について
高い出力を小さな空間に集中させると、ランプハウジングがその影響を受けます。私たちのランプは高負荷に耐えられるように設計されていますが、冷却システムも十分に機能していることが重要です。もし空気の流れが弱ければ、端蓋が過熱し、シールが破損してしまいます。これは単純な物理的な問題ですが、多くの人々がここで躓いてしまいます。
水晶の純度や構造にこだわることで、粒子の飛散を抑えることができます。つまり、たとえ高負荷がかかっても、ランプが壊れないのです。