リソグラフィー工程においては、フォトレジストを加熱する際の温度が2℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。R7sの赤外線ヒーターは、熱が適切な範囲内に留まるように設計されており、場所ごとにばらつきが生じないようにしています。
重要なポイント R7sは短波長の赤外線をフォトレジストや基板に直接当てることで、効率的に熱を伝えます。設定温度もすぐに安定し、その状態を維持します。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃と規定されており、これによって何度繰り返しても同じ結果が得られます。
クォーツ製のケースや内部のフィラメントの配置も、温度が急激に変化しないように考えられています。Class 1–100のクリーンルームでは、粒子数の変動も抑えられます。また、5,000時間以上使用しても出力が5％未満しか低下しないため、24時間365日連続して使用しても再調整の必要がありません。
なぜリソグラフィー工程に適しているのか リソグラフィー工程では、温度管理が非常に重要です。過剰な加熱によって溶剤が出てきて粘度が変わったり、不足した加熱では端部分に液滴が残り、正確な重ね合わせができなくなります。R7sを使えば、温度や時間を精密に制御できるため、毎回同じ結果が得られます。
このような再現性により、修正作業が減少し、歩留まりが向上し、工程時間も短縮されます。また、応答が速く損失も少ないため、エネルギー消費も少なくて済みます。さらに、長寿命であるため、頻繁な交換や停止時間も少なくなります。
注意点 R7sは標準的なR7sソケット用に設計されていますが、フィクスチャもそれに合致している必要があります。反射板の形状や空気の流れも、ランプの温度特性に合わせて調整されている必要があります。設定温度が安定するまでには少し時間がかかるため、コーターやトラックコントローラーのシーケンスと同期させる必要があります。
最も安定した結果を得るためには、校正済みの温度センサーと、電圧変動を補正できるコントローラーを併用すると良いでしょう。