ウェーハ加熱の安全距離

IR加熱とホットエア：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのでしょうか？ もし、ウェーハ処理においてホットエア循環から赤外線（IR）加熱に切り替える場合、それはつまり、熱がウェーハに伝わる仕組み全体を変えることになります。 強制送風の場合を考えてみてください。空気を加熱して部屋中に送り込み、その後は...