なぜ無鉛チップにはIR硬化が最適なのか？ 半導体製造工場で働いている人なら、お分かりでしょう。ウェーハの近くには、どんな不純物もあってはいけません。揮発性有機化合物や重金属触媒などは絶対に許されません。だからこそ、私たちは赤外線を利用した硬化処理を採用しているのです。 従来の対流式オーブンのように...

遅い加熱方法に時間を費やすのはやめましょう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的か もし、依然として強制対流式の空気加熱を使ってウェハを加熱しているのであれば、その手間の大変さはご存知でしょう。実際、ウェハにエネルギーを送り届けるために巨大な空気の泡を温めているだけです。これは非常に非効率的...

クリーンルーム用のトロリー型ヒーターの温度調節について スマートなファブを構築する際、多くの人は温度のことだけを考えがちです。しかし、実際に現場で働いている人ならわかるように、重要なのはシステムがどれだけ迅速に反応するか、そしてそのデータが他の装置とどのように連携するかという点です。 トロリー型ヒ...

なぜ私たちはオーブンを使わずに赤外線による硬化処理を採用するのか？ 正直言って、半導体を乾燥させるための従来の方法——つまり巨大な対流式オーブンを使う方法は、もはや効率的ではありません。今では、ほとんどの人が赤外線による硬化処理を採用しています。これは単に「環境に優しい」という理由や鉛を排除するた...

赤外線硬化処理の秘訣：熱電対 今日、半導体を乾燥させるためには、赤外線硬化処理が最適な方法です。これにより、業界は鉛フリー製造やエネルギー節約といった目標を達成できます。 その核心となるのが、熱電対です。 熱電対というのは、赤外線加熱素子の温度を厳密に管理するセンサーです。もしこのフィードバックが...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は任意の操作ではなく、必須の工程です。ソフトベイク時にわずか0.5度の誤差があっても、これはウェハの寸法精度に影響を与えます。ハードベイク時には、熱の不均一性が原因でウェハ表面に汚れがつき、歩留まりが悪化します。したがって、シフトを重ねても安定した温度を...