クリーンルーム用のトロリー型ヒーターの温度調節について
スマートなファブを構築する際、多くの人は温度のことだけを考えがちです。しかし、実際に現場で働いている人ならわかるように、重要なのはシステムがどれだけ迅速に反応するか、そしてそのデータが他の装置とどのように連携するかという点です。
トロリー型ヒーターに関しては、私たちは短波赤外線を使用します。なぜかというと、直接対象物を加熱できるからです。周囲の空気を温める時間がかからないため、クリーンルームの環境を乱すような気流が発生しません。
「スマート」にするために
現代のファブでは、すべての情報を画面上で確認できる必要があります。私たちは、PLCネットワークに直接接続できるように、このような赤外線システムを開発しています。
最も良い点は、大きくて重い金属製の装置を待つ必要がないことです。赤外線を使えば、電力を自由に調整できます。各サイクルでどれだけのエネルギーが消費されているかを正確に把握でき、中央のOSが全体の電力負荷を調整できます。
現実的な問題点
ただし、注意点もあります。トロリーに収めるためには、高密度の放射体を使用しなければなりません。これらは非常に強力です。そのため、断熱処理には十分注意する必要があります。適切な断熱処理を行わないと、搭載されているセンサーやバッテリーが損傷する可能性があります。これは簡単な解決策ですが、無視してはいけません。
ワークフローの高速化
もしまだ手動のスイッチや古い抵抗式ヒーターを使用しているなら、おそらくボトルネックに直面しているでしょう。そうした古いシステムでは、温度が安定するまでに時間がかかります。
私たちは、すべてを自動化されたPID制御に移行しました。その差は劇的です。数分ではなく、数秒で目標温度に到達できます。これにより、ウェーハの処理がスムーズに進み、輸送ラインの停止も防げます。これは、データ駆動型のファブの速さに合わせるための簡単な方法です。