IR加熱とホットエア：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのでしょうか？ もし、ウェーハ処理においてホットエア循環から赤外線（IR）加熱に切り替える場合、それはつまり、熱がウェーハに伝わる仕組み全体を変えることになります。 強制送風の場合を考えてみてください。空気を加熱して部屋中に送り込み、その後は...

高温と水が出会ったときの安全対策 正直に言って、高熱を発する赤外線ヒーターをシャワー室や浴槽の近くに設置するのは、まるで火遊びのようなものです。一方には強烈な熱があり、もう一方には蒸気や水しぶきがあります。適切な設計がなければ、問題が起きる可能性があります。 そのため、私たちはIP44規格を満たす...

ファブの現場では、熱的なばらつきが黙々と歩留まりを損なっていく。フォトレジストを焼成する際にウェーハ上で0.5℃もの温度差が生じたり、蒸発過程でランプの性能が低下したりすると、本来再現性のあるはずのプロセスが不安定になってしまう。私たちは、そのような不確実性を排除するためにEvatec蒸発用ランプ...