真空対応の赤外線ヒーター

チップ製造における炭素排出の削減：なぜ真空赤外線が最適なのか 半導体の製造は、極めて精密な作業が求められます。正確な温度管理が必要であり、ウェーハに何か異物やほこりが付着することは絶対に避けなければなりません。長年にわたり、私たちは大型の抵抗加熱炉を利用してきましたが、これは実質的に巨大なオーブン...