なぜ、ソフトベイクには専用のヒーターが必要なのか？ 私たちは、ウェーハ製造の初期工程で使用されるフォトレジストの硬化処理用のヒーターを製造しています。その目的は単純です。つまり、フォトレジストが硬化する際に、熱を正確に必要な場所に送り込むことです。 実際、わずか1度の誤差でも、一括での製品不良につ...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクとハードベイクの段階で、フォトレジストの厚みが決定されます。もしウエハ全体での加熱が均一でなければ、厚みにばらつきが生じます。これは後のエッチング工程でCDのばらつきとして現れ、結果としてウエハが廃棄処分となってしまいます。 重要なポイント 私たちは、短波長...

リソグラフィーの現場では、プロセスを理解している：温度が0.5℃でもずれると、CD制御がスペックを外れます。DUVフォトレジストをソフトベイクとハードベイクに通して溶剤を追い出し、プロファイルを固定します。熱的な予算が外れると、ラインが広がり、エッジの粗さが増加し、全体が突然赤信号になります...