なぜ、ソフトベイクには専用のヒーターが必要なのか？ 私たちは、ウェーハ製造の初期工程で使用されるフォトレジストの硬化処理用のヒーターを製造しています。その目的は単純です。つまり、フォトレジストが硬化する際に、熱を正確に必要な場所に送り込むことです。 実際、わずか1度の誤差でも、一括での製品不良につながりかねません。 そのため、私たちは高密度のハロゲンランプを使ったヒーターを開発しました。これにより、プロセスが必要とする場所にのみ、安定した熱が供給されます。
電力、電圧、そしてスペースの問題 このヒーターは、狭いスペースでの使用を前提に設計されています。高電圧を利用することで、コンパクトなサイズでありながらも高性能を発揮できます。 400Vの入力電圧により、必要なワット数をコンパクトなサイズに収めることができます。300mmの石英管程度の大きさです。 この電圧設定により、電流が減少し、太い導体が不要になります。また、端子ブロックの温度も下がります。 2500Wの出力により、迅速に加熱でき、負荷がかかっても設定値を維持できます。 さらに、その物理的なサイズは、標準的なリソグラフィーシステムと互換性があるため、そのまま取り替えることができます。
機能を実現する材料 内部には、高純度の石英管内に収められた短波長ハロゲン要素があります。 石英は熱衝撃に強く、放射熱を安定させる役割を果たします。ハロゲンサイクルにより、フィラメントが長期間にわたって安定しているため、バーニングプロファイルも一定に保たれます。 この管にはR7sコネクタが使用されており、二本のピンでしっかりと接続され、熱サイクルにも耐えられます。また、メンテナンス時にランプを交換するのも簡単です。 私たちは、このヒーターを高温で高速に動作させるため、ソケットや配線も連続的な高温環境に耐えられるように設計されています。
実際の使用感 ファブでは、ソフトベイクは迅速かつ均一に行われる必要があります。そうすることで、露光前にフォトレジストが硬化します。 私たちのヒーターは、高密度の放射熱と精密な制御によって、それを実現します。 コンパクトなサイズのため、既存のコーティング/ベイク装置に容易に統合できます。 しかし、利点と共にデメリットもあります。熱が非常に集中しているため、ランプ周辺の温度を適切に保つためには、冷却装置や送風システムを適切に設定する必要があります。 私たちは、この設定が繰り返しの負荷にも耐えられると信頼しています。厳しい条件でも問題なく機能します。 もし、自社のラインで比較测试をしたい場合は、仕様書を持参し、数値でその性能を証明します。