空気を温めるための時間の無駄遣いをやめよう 半導体製造において熱風を利用するとき、その非効率さを知っている人も多いでしょう。空気が温まるまでに時間がかかり、ワークピースが実際に温まる前に、オーブン全体が温まるのを待つ必要があります。まるで料理を始める前にエアヒーターで部屋を温めるようなものです。...

「ガラスの雨」を止めよう：なぜIRエミッターにはセラミック製のエンドキャップが必要なのか 大量生産が行われる半導体工場では、クォーツチューブが破損すると、それは単なる問題ではなく、大惨事につながります。 シリコンウェーハの真上でIRエミッターが破裂したらどうなるでしょうか？単に稼働停止にとどまらず...

高負荷のIRランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 正直に言って、高負荷の半導体製造装置では、ランプが破損するのは大きな問題です。それは5分で交換できる単純な部品の故障ではありません。ひどい状況になります。石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降りかかります。そうなると...

製造現場では、リソグラフィーの工程は自分のペースで進行します。工程が進行中に一時停止することはできません。もしフォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に赤外線温度が変動してしまうと、重要な寸法の変化に対処しなければならず、その結果、歩留まりが低下してしまいます。必要なのは、一定の温度を維持し...