空気を温めるための時間の無駄遣いをやめよう
半導体製造において熱風を利用するとき、その非効率さを知っている人も多いでしょう。空気が温まるまでに時間がかかり、ワークピースが実際に温まる前に、オーブン全体が温まるのを待つ必要があります。まるで料理を始める前にエアヒーターで部屋を温めるようなものです。
私たちは別の方法を採用しています。赤外線ランプとアルミニウム製の反射器を組み合わせて使います。そうすることで、空気を温める代わりに、熱が直接材料に伝わります。
なぜアルミニウムが重要なのか
単独の赤外線ランプだと、発生した熱の半分は機械の筐体に戻ってしまいます。これは完全な無駄です。
ここで高純度のアルミニウムが役立ちます。アルミニウムは光子を反射する鏡のような役割を果たし、そのエネルギーを再び基板上に戻します。アルミニウムは短波から中波の領域の光を効果的に反射するため、熱分布が非常に均一になります。つまり、迅速かつ強力に加熱できるのです。
待ち時間を削減する
熱風式のシステムには「熱慣性」という問題があります。つまり、安定するまでに時間がかかるのです。
一方、赤外線方式は全く逆です。ほぼ瞬時に加熱できます。適切な反射器を使えば、加熱にかかる時間を大幅に短縮できます。ワークピース自体に焦点を当てることができるので、1枚あたりの処理時間が短縮されます。
注意点
もちろん、これは魔法ではありません。高反射率のアルミニウムは優れていますが、少し敏感です。
化学的に厳しい環境や極端な高温の中で作業すると、表面が酸化してしまいます。そうなると、反射率が下がってしまいます。ほこりや汚れが大敵です。反射器が汚れると、効率が低下し、熱の分布が乱れてしまいます。
常に清潔に保てば、問題なく機能します。
ほとんどの半導体製造ラインにおいて、これが最適な方法です。スペースを節約できるだけでなく、対流オーブンが温まるのを待つという面倒もなくなります。ただし、ワークピースに当たらない余分な熱を処理できる冷却ファンがあることを確認してください。そうしないと、ワークピースを処理している途中で自分の電子機器が壊れてしまうかもしれません。