IR反射体からより多くの熱を得る方法（汗をかかずに）
半導体ウエハーの洗浄装置を扱ったことがある人なら、その苦労はご存知でしょう。水は熱を吸収する性質があります。ウエハーにエネルギーを与えるよりも、逆にエネルギーが奪われてしまいます。仕事を進めるためには、環境がエネルギーを奪う前に、できるだけ多くのエネルギーをウエハー表面に送り込むIRシステムが必要です。 ほとんどの人はアルミニウム製の反射体を使います。それでも十分ですが、漏れが生じやすく、過剰なエネルギーを吸収してしまいます。つまり、無駄にエネルギーが浪費されてしまうのです。だからこそ、私たちは金を使用します。 なぜ金なのか？ 聞こえは豪華ですが、実際には単なる実用的な選択に過ぎません。近赤外線領域では、金は研げられた鋼鉄やアルミニウムよりもはるかに多くのエネルギーを反射します。私たちは、通常は失われてしまう放射エネルギーを捕捉し、再びウエハーに戻すために、薄く正確な層をコーティングします。 これにより、散乱した光が集中したビームに変わります。ランプから出るすべてのエネルギーがウエハーに届くのです。 より多くの熱、より少ない電力 素晴らしい点は、ランプの出力を金の最適な反射率に合わせることができる点です。つまり、壁からより多くの電力を引き出すことなく、より高い熱密度を得ることができます。その結果、機器を小型でコンパクトに保つことができます。もし通常の反射体を使って同じ温度を得ようとすると、より多くのワット数が必要になります。そして、その場合、フィラメントが壊れたり、ケースが溶けたりする危険があります。 注意すべき点 金は熱を扱うのに優れていますが、柔らかいです。非常に柔らかいのです。 研磨剤や強力な化学薬品を使って清掃することはできません。そのコーティングを傷つけると、ウエハー上に「低温域」ができてしまい、修正が非常に難しくなります。ですから、丁寧に清掃して、その鏡面のような表面を維持する必要があります。 最良の点は、これらがそのまま交換可能な設計になっていることです。既存のコントローラーに接続するだけでOKです。そうすれば、ウエハーが目標温度に到達するのが大幅に早くなります。 ただし、熱が集中するため、冷却ファンがランプの端付近の熱に対応できるかを必ず確認してください。