遅い加熱方法に時間を費やすのはやめましょう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的か
もし、依然として強制対流式の空気加熱を使ってウェハを加熱しているのであれば、その手間の大変さはご存知でしょう。実際、ウェハにエネルギーを送り届けるために巨大な空気の泡を温めているだけです。これは非常に非効率的です。大量の熱が大気中に失われ、加熱にかかる時間も長く感じられます。
金コーティングされたIRランプは、この問題を解決します。空気を温める代わりに、放射エネルギーを直接対象物に向けて送り込みます。
金コーティングの利点はここにあります。
通常の石英ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。これは無駄な行為です。しかし、石英管の内側に金コーティングを施すことで、鏡のように機能し、本来は後方に戻るはずのIR放射線を前方に反射させます。その結果、半導体基板上により集中した、より強力な熱束が与えられます。電力消耗を増やすことなく、より高い効果が得られます。
では、本当のボトルネックである「時間」について話しましょう。
精密加工においては、時間がすべてです。部屋全体が適切な温度になるまでには数分かかります。しかし、金コーティングされたIRランプを使用すれば、数秒で所定の温度に到達します。瞬時に対応できるのです。熱を迅速に調節できるので、ウェハ1枚あたりの処理時間が大幅に短縮されます。
でも、これは魔法ではありません。注意すべき点もあります。
熱密度を上げると、熱勾配に注意する必要があります。ランプの配置に少しでも誤差があると、ホットスポットが生じてしまいます。誰も、歪んだウェハを望んでいません。また、冷却システムも十分に機能している必要があります。熱の一部はチャンバーの壁に反射され、注意しないとランプ自体が損傷してしまいます。
実際に導入するには…
最も良い点は、これらのランプは通常、既存のIRランプと交換可能であることです。標準的なIR装置にそのまま取り付けられます。高真空やクリーンルーム環境では、空気を動かすことができず、汚染のリスクがあります。そういう場合には、このランプが非常に役立ちます。もし、「オーブン式」の加熱にうんざりしていて、より早く処理を進めたいのであれば、これが最適な解決策です。