単一のランプの故障が、全体の生産を台無しにするのを防ぎましょう。
高負荷の製造環境では、ランプが壊れるというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に厄介な問題です。
もし真空チャンバー内で石英管が割れてしまったら、単に電球が壊れただけでは済みません。ガラスの破片や金属のフィラメントがあちこちに飛び散り、ウェーハがすぐに汚染されてしまいます。大変な混乱になりますし、費用もかかります。
だからこそ、私たちはこのような方式で真空式赤外線ヒーターを作っているのです。
混乱を防ぐために
私たちは高純度の合成石英を使用しています。これにより、急激な加熱や冷却にも耐えられます。しかし、それだけではありません。
さらに、保護用のシースや特殊なケージを追加しています。これはまるでセーフティネットのようなものです。フィラメントが壊れて管が破裂しても、破片はシースの中に留まり、チャンバー内に散らばることはありません。そうすることで、制御された形で故障が起こり、シリコンが汚染されることはありません。
熱のバランス
高密度加熱のポイントは、バランスです。十分なパワーが必要ですが、管の壁が過度に熱くなってはいけません。
電圧やワット数については、厳格な基準が設けられています。もし、より速く加熱したいからといって、ランプの限界を超えて使おうとすると、石英が劣化してしまいます。それは失敗につながります。必ず、電源の仕様を私たちの指定通りにしてください。そうすれば、ガラスも壊れることはありません。
清潔さを保つために
私たちは、ランプに使われる部品に非常にこだわっています。安価な接着剤や有機系コーティングは一切使用しません。なぜかというと、それらは真空状態で蒸発し、ウェーハの表面に付着してしまうからです。
また、端の部分も高品質のセラミックで密封しています。漏れや予期せぬ問題はありません。
正直な妥協点
正直に言うと、保護用のシースを使うと、赤外線の透過率が少し低下します。
理想的な温度分布を得るためには、パワーを調整したり、ランプと基板の距離を調整する必要があるかもしれません。
でも、それは小さい代償です。わずかな効率の低下はあっても、ハードウェアの故障によって全体の生産が台無しになる心配がないのです。