MEMSセンサーワイヘア乾燥ヒーター

MEMSウェーハを乾燥させる際の安全性の確保 現実を言えば、化学洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるというのは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が可燃性や爆発性のある蒸気のすぐそばにあるのです。もし通常の赤外線ランプを使ったら、問題が起きてしまいます。 そのため、私たちは特別な方法で...