ウェーハ加熱の安全距離
IR加熱とホットエア:ウェーハを加熱するにはどちらが良いのでしょうか? もし、ウェーハ処理においてホットエア循環から赤外線(IR)加熱に切り替える場合、それはつまり、熱がウェーハに伝わる仕組み全体を変えることになります。 強制送風の場合を考えてみてください。空気を加熱して部屋中に送り込み、その後は...
パティオヒーターと天井の距離
お風呂場に適したヒーターのワット数を選ぶには
赤外線ヒーターの特徴として、実際には部屋の空気を温めるわけではありません。むしろ、直接人や周囲の表面を温めます。これは全く異なるタイプの熱です。
そのため、単にワット数を推測するだけでは不十分です。もし高出力のランプを狭いトイレに設置すると、部屋が過熱...