プロ仕様のファブ装置用スペア部品

製造現場では、焼成温度の変動は警告灯として表れません。代わりに、0.3％のCD変動や線幅の変化、そして再加工のタイミングが過ぎた後に不良品が発生します。オーブン内のライトが劣化すると、ウェーハが高温状態にある間は設定値が正常に表示されます。そのため、スロットごと、ロットごとに熱性能を安定させるため...