お店がまるで火薬庫のような状態でも、安定性を保つ方法 正直に言って、化学洗浄ラインの周辺で赤外線ヒーターを使用するのは非常に危険です。そこには可燃性の溶剤や爆発性の蒸気が漂っているのです。そのような環境では、普通のヒーターランプは単なる部品以上の存在となり、かえって危険を招く可能性があります。 私...

リソグラフィー工程においては、フォトレジストを加熱する際の温度が2℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。R7sの赤外線ヒーターは、熱が適切な範囲内に留まるように設計されており、場所ごとにばらつきが生じないようにしています。 重要な...