半導体ウエハーの乾燥を真に環境に優しいものにするには 半導体ウエハーを扱う際、熱という要素をいかにうまくコントロールするかが重要です。溶剤や水分を取り除く必要がありますが、熱管理を間違えると、繊細なシリコンウエハーが台無しになってしまいます。 長い間、私たちは従来の抵抗式加熱システムに頼ってきまし...

Out on the fab floor, a half-degree drift during the photoresist bake is all it takes to scrap a full carrier. You need a dryer that holds...

ファブフロアでは、数度の差が安定した工程を逸脱に変えることがある。リソグラフィとフォトレジスト処理において、ベーク工程は単なるウォームアップではない。これはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、欠陥レベルを決定する熱予算である。ドライヤーがずれると、ウェーハ全体にソフトベークの非均一性、パター...