化学処理が行われる環境で赤外線ヒーターを使用する際の安全性の確保 もし、ファブのクリーンルーム、特に化学的な清洗ステーションを改良するとしたら、その危険性はよく理解しているはずです。そこでは揮発性の高い溶剤や可燃性の蒸気が存在します。このような環境では、普通の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むし...

製造現場では、焼成温度の変動は警告灯として表れません。代わりに、0.3％のCD変動や線幅の変化、そして再加工のタイミングが過ぎた後に不良品が発生します。オーブン内のライトが劣化すると、ウェーハが高温状態にある間は設定値が正常に表示されます。そのため、スロットごと、ロットごとに熱性能を安定させるため...