製造現場での炭素排出削減：なぜUHP赤外線ランプに移行するのか
現在、すべての半導体製造工場は、炭素中性を実現するという目標に向けて大きな圧力にさらされています。長年にわたり、私たちは従来の抵抗式炉を使ってきましたが、これらはエネルギー消費が多いのです。
そのため、私たちは超純度のUHP赤外線ランプシステムへと移行しているのです。巨大なチャンバー全体を加熱する代わりに、このランプはウェーハや石英管だけを直接加熱します。これはずっと効率的な方法です。
秘密は物理法則にあります。
クリーンルームでは、わずかな金属汚染でも全てを台無しにしてしまいます。そのため、高純度の合成石英を使用します。このランプは短波長の赤外線を放出し、対流よりもはるかに効果的に熱を与えます。結果として、加熱時間が大幅に短縮されます。サイクルが速くなれば、不必要に大量の電力を消費することもありません。これは地球環境と電気代の両方にとって有益です。
しかし、単純に「プラグを差し込むだけ」ではありません。
熱密度は非常に高いので、光を調整し、過度な加熱時に何かが放出されないようにするために、特別なコーティングを使用します。ただし、このランプは多量の電力を消費します。急激な加熱時に、電源がその高い電流に耐えられなければ、ブレーカーが落ちたり、コントローラーが破壊されたりします。したがって、電源装置がその負荷に耐えられるかどうかを確認する必要があります。
スペースと電力の節約
人々が気に入っているのは、占めるスペースが小さいことです。巨大なオーブンを使わないため、分厚い断熱材も不要になります。また、部屋に漏れ出る熱が少なくなるため、HVACシステムも余計な労力をかけずに工場の温度を維持できます。これも効率化の効果です。
実際のトレードオフ
何も永遠に持続するわけではありません。タングステンフィラメントは時間とともに細くなり、それによって光のスペクトルも変化します。注意しなければ、温度の均一性が悪くなり、結果としてウェーハがダメになってしまいます。これは避けたい問題です。
最善の対策は、定期的に交換することです。故障する前に交換しましょう。そして、配線がしっかりしていて、ランプが正しく取り付けられていることを確認してください。高電圧環境では、接続不良は放電を引き起こす原因になります。