在干燥MEMS晶圆时，如何确保安全？ 事实上，对经过化学处理的MEMS传感器晶圆进行干燥处理，就如同在玩火一样危险。因为加热元件就位于易燃、易爆的气体旁边。如果使用普通的红外灯来加热，那无疑会引发灾难。 因此，我们特意设计了特殊的红外加热器。我们将它们包裹在特殊的封装材料中，这样可以防止化学物质侵...

在300 mm生产线上，烘干过程中温度漂移低于0.1°C，足以使关键尺寸发生纳米级偏移，同时颗粒数也会显著上升。这正是MEMS晶圆烘干加热器的设计初衷——热性能不仅是一个参数，更是整个工艺的核心。 我们关注的核心技术 我们围绕快速且稳定的热传递设计加热器：采用短波红外元件，配合低热惯性的石英和陶瓷...