晶圆固化灯用反射器

如何在不浪费能源的情况下正确完成晶圆固化处理？ 如果想要在半导体制造厂实现碳中和目标，关键就在于如何有效控制热量。在晶圆固化过程中，我们需要让光刻胶硬化或去除其中的溶剂，而此时最忌讳的就是浪费能源。 解决这个问题的方法并非使用更强大的加热器，而是确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是仅仅让机器的壳体...