深紫外 DUV 光刻胶烘烤灯

在光刻车间，你知道流程：即使是半度的烘烤漂移也会导致CD控制超出规格。你将DUV光刻胶经过软烘烤和硬烘烤，以驱除溶剂并锁定光刻胶的轮廓。如果热预算不对，线条会变宽，边缘粗糙度上升，整个批次突然变为红色。DUV光刻胶烘烤灯的存在就是为了消除这种变异性。 实际重要的内容 我们设计这款灯具是为了将短波能...