防止红外灯损坏晶圆 在高负荷生产环境中，红外加热灯会承受极大的压力。它们很容易被损坏。一旦灯泡彻底失效——或者更糟糕的是，在加热室内爆裂——那可就麻烦了。到时候，到处都是石英碎片和灯丝残骸。这不仅会毁掉正在加工的晶圆，还会让整个生产流程被迫中断，因为必须停下来清理这些碎片。 应对“爆裂”问题 真正...

为何我们放弃传统烤箱，转而使用红外固化技术 说实话，传统的半导体干燥方式——也就是将芯片放入大型对流烤箱中加热——已经显得不够高效了。现在，大多数人都在转向使用红外固化技术。这不仅仅是为了满足“绿色环保”的要求或避免使用铅，更因为对流加热方式本身效率低下。 想想看，使用强制空气对流时，必须先加热大...

在晶圆制造过程中，如果在干燥阶段出现哪怕微小的偏差，都可能使光刻胶的厚度超出标准范围。这样一来，就必须报废那些有问题的晶圆，同时还会白白浪费能源。而能源浪费的问题会不断累积——因为加热过程效率低下，还需要不断进行调整。我们设计的加热系统可以解决这两个问题：既能够减少能源消耗，又能确保温度控制精度，...