节能晶圆加热器

防止红外灯损坏晶圆 在高负荷生产环境中，红外加热灯会承受极大的压力。它们很容易被损坏。一旦灯泡彻底失效——或者更糟糕的是，在加热室内爆裂——那可就麻烦了。到时候，到处都是石英碎片和灯丝残骸。这不仅会毁掉正在加工的晶圆，还会让整个生产流程被迫中断，因为必须停下来清理这些碎片。 应对“爆裂”问题 真正...