专业半导体制造设备备件

在制造车间里，烘烤温度的偏差并不会通过警示灯来显示出来。相反，它表现为CD值的0.3%变化、线宽的偏差，以及在重新加工时间结束后产生的废品。当烤箱中的灯泡老化后，虽然设定值看起来仍然正常，但实际上晶圆表面的温度已经过高了。因此，需要使用那些能够确保温度稳定性的备用部件——这样才能保证不同批次产品之...