晶圆处理设备用温度传感器

引言 在处理半导体晶圆时，控制温度至关重要——实际上，温度控制是整个生产过程的核心。正因如此，我们设计了红外线加热系统，能够将热量精确地传递到需要加热的位置，而不会影响到其他部位。 我们旨在为温度传感器及加热部件提供精准、局部的热能供应。其核心理念很简单：为晶圆加工设备提供所需的准确热量，同时减少...