智能传感器封装红外线
利用红外线加热技术减少传感器封装过程中的碳排放
如果我们真的想要在芯片制造过程中实现碳中和,那就必须停止使用那些体积庞大的对流式烤箱。因为它们实在是太浪费能源了。相反,我们应该采用定向红外线加热技术。
对于智能传感器封装来说,我们可以使用短波红外线灯,让热量直接照射到基材上。这就好比用聚光灯照明,...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
在干燥MEMS晶圆时,如何确保安全?
事实上,对经过化学处理的MEMS传感器晶圆进行干燥处理,就如同在玩火一样危险。因为加热元件就位于易燃、易爆的气体旁边。如果使用普通的红外灯来加热,那无疑会引发灾难。
因此,我们特意设计了特殊的红外加热器。我们将它们包裹在特殊的封装材料中,这样可以防止化学物质侵...
氢气传感器制造用加热器
利用红外线加热技术正确制造氢气传感器
如果你曾经尝试过制作氢气传感器,就会明白其中的不易。首先,需要确保传感器膜保持完整,同时催化剂也要能够牢固地附着在膜上。这就要求加热过程必须精确控制。
长期以来,人们都使用对流式烤箱来进行加热。但在现代工厂中,这种方式的效率实在太低了。因此,我们改用了短波红外...
用于晶圆的精密红外传感器
在高负荷的红外灯出现故障时,如何保持晶圆的清洁? 说实话,在高负荷的半导体生产环境中,如果红外灯发生故障,那可真是场灾难。这可不是那种可以随时更换的简单部件——它会导致整个生产流程陷入混乱。当石英管破裂时,玻璃碎片和卤素气体就会溅到晶圆上,导致整批晶圆报废,同时还需要耗费大量时间来清理真空室。
我...
晶圆处理设备用温度传感器
引言 在处理半导体晶圆时,控制温度至关重要——实际上,温度控制是整个生产过程的核心。正因如此,我们设计了红外线加热系统,能够将热量精确地传递到需要加热的位置,而不会影响到其他部位。
我们旨在为温度传感器及加热部件提供精准、局部的热能供应。其核心理念很简单:为晶圆加工设备提供所需的准确热量,同时减少...