在干燥MEMS晶圆时，如何确保安全？
事实上，对经过化学处理的MEMS传感器晶圆进行干燥处理，就如同在玩火一样危险。因为加热元件就位于易燃、易爆的气体旁边。如果使用普通的红外灯来加热，那无疑会引发灾难。
因此，我们特意设计了特殊的红外加热器。我们将它们包裹在特殊的封装材料中，这样可以防止化学物质侵蚀加热元件的丝状结构，同时也能避免发生火灾。**关键就在于密封性。**我们使用完全密封的石英外壳，以及能够抵抗恶劣化学物质的涂层。这样就能确保电气接触点与空气完全隔绝。我们在引线处使用高质量的环氧树脂或玻璃-金属密封件，从而防止挥发性有机化合物进入灯体内部。
可以这么理解：如果密封失效，加热元件的丝状结构就会烧毁，而产生的微小火花就有可能引发火灾。我们的设计就是为了避免这种情况的发生。
平衡热量与安全性
这些加热器能产生高强度的短波辐射，从而快速干燥晶圆，同时不会损坏晶圆本身。这需要精心调整功率，以确保表面温度始终低于化学气体的闪点。这样既能实现快速干燥，又能保证安全。不过，仍需注意气流状况。这些灯具会产生大量热量，如果排风系统不佳，热量就会在装置内积聚，从而增加风险。
无需担心维护问题
我们不想让您花费数小时来维修设备，因此设计了易于更换的部件。其电路设计适合在危险环境中使用，绝缘层经得起数百次高温循环后的考验。此外，我们还摒弃了那些容易松动的连接件，改用更加坚固、抗振的连接方式。这样一来，就完全消除了电弧产生的风险。当需要更换灯具时，只需更换灯具并拧紧接头即可，无需重新布线，非常方便。