Evatec蒸发器加热灯

在芯片制造过程中，热量分布不均会悄悄降低产品的良率。在光刻胶烘烤过程中，如果晶圆上的某个区域温度高出0.5℃，或者蒸发灯的工作性能出现偏差，那么原本应该能够重复进行的工艺流程就会变得不可预测。我们设计的Evatec蒸发灯，就是为了消除这种不确定性。 从技术层面来看，重要的是什么？ 该蒸发灯采用石英...