晶圆加热的安全距离

红外加热与热风加热：您打算用哪种方式来加热晶圆呢？ 如果您从热风循环加热方式转向红外加热方式，那么实际上您是在改变热量传递到晶圆上的方式。 以热风为例，您需要先加热空气，然后让空气在腔室中流动，再等待空气将热量传递给晶圆。这个过程相当缓慢，而且存在明显的延迟。 而红外加热则不同。它是通过辐射方式传...