可与真空环境配合使用的红外加热器

在芯片制造过程中减少碳排放：为何真空红外加热器是最佳选择 半导体制造是一项对精度要求极高的工作。必须保持精确的温度控制，同时还要确保没有空气或灰尘污染晶圆。长期以来，人们一直使用那种大型的电阻炉来加热晶圆，但实际上，这类炉子只是把整个房间里的空气都加热起来，才能让一个晶圆变热。这无疑是一种能源浪费...