工厂干燥系统的能源审计

在晶圆制造过程中，如果在干燥阶段出现哪怕微小的偏差，都可能使光刻胶的厚度超出标准范围。这样一来，就必须报废那些有问题的晶圆，同时还会白白浪费能源。而能源浪费的问题会不断累积——因为加热过程效率低下，还需要不断进行调整。我们设计的加热系统可以解决这两个问题：既能够减少能源消耗，又能确保温度控制精度，...